在沿面放電的放電通逆里，山于存在著很強(qiáng)的垂直于放電通道的電場，帶電粒子的運(yùn)動將與其它放電形式中帶電粒子的運(yùn)動大不相同，粒子的擴(kuò)散也不同于空間的自由擴(kuò)散。這種運(yùn)動與擴(kuò)散的結(jié)果有可能使氧原子以及臭氧分子迅速脫離放電通道的高密度粒子區(qū)域，相當(dāng)于獲得了一種大半徑的微放電通道，在這一通迸里，氧原子濃度適中，電子能量較人，臭氧的初始濃度也相對較低，因而有利于臭氧形成。尤其突出的優(yōu)點(diǎn)是。山于放電特性隨電源的頻率而發(fā)生連續(xù)的變化，沿面放電的微放電通道相對來說有更人的變化范圍并且較易受到控制，從而可以找到一種合適的放電參數(shù)，提高臭氧的產(chǎn)量效率。